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半导体特气检漏仪

XP-703D半导体特气检漏仪 特点：

? Z适合于检测半导体特气的微量泄漏。

? 采用声光报警。

XP-703D 规格：

型 号


XP-703D

检测对象气体


半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）

检测原理


型半导体式

采样方式


自动吸引式

可检测浓度

（单位：ppm）


砷烷 磷烷 乙硼

  • 产品型号：
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2025-10-19
  • 访  问  量：3028
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联系电话：0519-81194519

产品详情

XP-703D半导体特气检漏仪 特点： 

?  于检测半导体特气的微量泄漏。 

? 采用声光报警。 

XP-703D半导体特气检漏仪 规格： 

型 号 

XP-703D 

检测对象气体 

半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） 

检测原理 

型半导体式 

采样方式 

自动吸引式 

可检测浓度 

（单位：ppm） 

砷烷 磷烷  乙硼烷 硅烷 氢气 

AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 

0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 

检测表示 

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 

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